Cartușe de filtrare cu pulbere din oțel inoxidabil de 5 microni cu interfețe VCR 1/2"
Dimensiune: φ40*196.3mm
Precizia filtrului: 5 microni
Interfață: VCR1/2"
Cartușele filtrante cu pulbere din oțel inoxidabil cu interfețe VCR 1/2" sunt componente esențiale în fabricarea semiconductoarelor, concepute special pentru sistemele de distribuție a gazului de înaltă puritate. integritatea proceselor sensibile de fabricare a semiconductoarelor. Interfața VCR 1/2" oferă o etanșare metal-la-rezistentă la scurgeri, îndeplinind cerințele stricte ale mediilor de semiconductori în care chiar și impuritățile minuscule ale gazului pot duce la defecte semnificative la dispozitivele microelectronice. Construcția lor robustă din oțel inoxidabil-rezistent la coroziune garantează durabilitate și fiabilitate-pe termen lung în condiții extreme.
În aplicațiile cu semiconductori, aceste cartușe filtrante joacă un rol vital în protejarea echipamentelor din aval, cum ar fi regulatoarele de debit de masă și supapele de precizie, împotriva contaminării cu particule. Prin integrarea perfectă în liniile de gaz de-puritate ridicată existente, ele simplifică instalarea și întreținerea, reducând în același timp timpul de nefuncționare a sistemului. Combinația dintre eficiența ridicată de filtrare, rezistența chimică excepțională și etanșarea fiabilă le face indispensabile pentru asigurarea purității constante a gazului și a eficienței operaționale în instalațiile avansate de producție de semiconductori.
Specificatiile produselor

Material: 316L pulbere
Dimensiune: φ40*196.3mm
Precizia filtrului: 5 microni
Interfață: VCR1/2"
Tehnic: Sinterizare
Caracteristicile produselor

1. Puritate ultra-înaltă și reținere a particulelor
- Structura din oțel inoxidabil sinterizat (de obicei 316L) oferă un mediu de filtrare curat, integral metalic, fără lianți, adezivi sau reziduuri organice.
- Capabil să rețină particulele submicronice până la 0,5 μm, împiedicând micro-contaminarea să ajungă în camerele de proces sau plachetele.
- Fără deversare de particule, asigurând un număr stabil de particule pentru utilizare pe termen lung.
2. Stabilitate mecanică și termică robustă
- Designul integral din metal rezistă la presiune ridicată, temperaturi ridicate și cicluri termice frecvente.
- Menține integritatea mecanică în condiții de vibrații, debit invers sau pulsații de presiune-obișnuite în sistemele de distribuție a gazelor.
- Compatibil cu urmărirea căldurii pentru conductele de gaz la temperatură înaltă.

3. Recurabil și regenerabil
- Elementele filtrante pot fi spălate înapoi, curățate cu ultrasunete sau coapte în vid, permițând o durată de viață lungă în comparație cu filtrele polimerice sau ceramice.
- Ciclul de viață obișnuit se extinde la 5–10 ori mai mare decât cel al filtrelor PTFE sau PVDF de unică folosință, minimizând timpul de nefuncționare și costul total de proprietate.
4. Compatibilitate chimică și rezistență la coroziune
- 316Oțelul inoxidabil L menține o peliculă de oxid pasiv în medii cu clorură, fluor, amoniac și gaz acide.
- Suprafața nereactivă previne extracția ionilor metalici sau modificările compoziției gazului.
aplicatii
1. Linii de distribuție a gazelor UHP
- Instalat în platforme de livrare a gazului în vrac, dulapuri de gaz și panouri VMB/VMP, eliminând particulele înainte ca gazul să intre în MFC sau în instrumentele de proces.
- Folosit în N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ și în alte conducte de gaz de înaltă puritate care alimentează procese critice.
2. Protecția admisiei pentru controlerul debitului de masă (MFC).
- Previne contaminarea cu particule și uzura supapelor în regulatoarele de debit masic de precizie.
- Îmbunătățește stabilitatea fluxului pe termen lung și consistența calibrării MFC-urilor.
3. Camera de proces și admisiile de gaz pentru scule
- Asigură livrarea fără particule, fără umiditate în cuptoare CVD, ALD, gravare și difuzie.
- Folosit în liniile SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ și TEOS în care puritatea este esențială pentru calitatea și randamentul filmului.
4. Gaze speciale și sisteme precursoare
- Pentru gaze pe bază de metal-organic sau pe bază de halogen, unde inerția chimică și stabilitatea temperaturii sunt cruciale.
- Adesea plasat după vaporizatoare sau barbotoare pentru a capta particulele sau picăturile condensate.
Contactaţi-ne
Tel: 0917-3873009
Telefon: +86 18992731201
E-mail:zhangjixia@bjygti.com
Fax: 0917-3873009
Adresă: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Zona de dezvoltare tehnologică, Baoji City, Shaanxi, China
Whatsapp: +86 18992731201
Tag-uri populare: Cartușe filtru pulbere din oțel inoxidabil de 5 microni cu interfețe VCR 1/2", China, furnizori, producători, personalizate, utilizare, listă de prețuri, de vânzare, în stoc, probă gratuită, material poros
-
Filtru metalic din titan sinterizatVedeți mai multe> -
Placă poroasă sinterizată din titanVedeți mai multe> -
Elementul filtrant mic sinterizat cu pulbere SUS 316LVedeți mai multe> -
Elemente Ti poroase pentru capacul de protecție a senzoru...Vedeți mai multe> -
40um SS316L cartuș cu filtru cu plasă metal metal sinterizatVedeți mai multe> -
Element de filtru din titan poros cu piuliță hexagonalăVedeți mai multe>













